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ドライ真空ポンプ材質：
単位：台

スクロール型真空ポンプ材質：
単位：台

ドライスクリュー真空ポンプ材質：
単位：台

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　TURBOVAC MAG 材質：
単位：台

二段式油回転式真空ポンプ　TRIVAC B 材質：
単位：台

ドライ圧縮式真空ポンプ　LEYVAC(水冷式) 材質：
単位：台

油封式真空ポンプ　TRIVAC L 材質：
単位：台

ハイブリット型ターボ分子ポンプ　TURBOVAC i 材質：
単位：台

TURBOLAB Core 材質：
単位：台

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　TURBOVAC MAG 材質：
単位：台