BUSINESS 業務案内

真空チャンバー・真空ポンプ等周辺設備の設計・製作・販売

BUSINESS 02 真空チャンバー・真空ポンプ等周辺設備の設計・製作・販売

真空チャンバー方式の気密洩れ検査装置には、真空チャンバーが欠かせません。
ご希望のサイクルタイムなどから、最適なボリューム(容積)を算出し、検査に適した真空チャンバー・真空ポンプを設計・製作いたします。
また、真空ポンプと真空チャンバーの間には、必ず「真空配管」と呼ばれる配管を接続します。
お客さまが現在使用している設備の配管もいずれは劣化し、リークが発生する原因となることがあります。
エナジーロジカルでは、新規の設計・製作はもちろんのこと、既存設備の配管の修正・リメイクなども手掛けております。

また、真空チャンバーの到達圧力や被検査体内部へのトレースガスの充填圧力などは、真空計や圧力スイッチなどの専用センサーで管理・制御しております。
エナジーロジカルでは、真空配管はもちろんとして各種高圧機器類やセンサー類、位置決めの治具までワンストップでご対応が可能です。

対応範囲

  • 真空ポンプ・真空チャンバーの設計・製作
  • 精密切削加工やレーザーカットを用いた各種治具やカプラの設計・製作
  • 各種フランジ(KFフランジ・ICFフランジ・JISフランジ)、KFフレキシブルチューブの販売
  • 各種高圧機器類やセンサー類の販売 等
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